藍寶石專用精拋液
藍寶石拋光液利用聚晶金剛石的特性,在研磨拋光過程中保持高切削效率的同時不易對工件產(chǎn)生劃傷。可以應(yīng)用在藍寶石襯底的研磨和減薄、光學(xué)晶體、硬質(zhì)玻璃和晶體、超硬陶瓷和合金、磁頭、硬盤、芯片等領(lǐng)域的研磨和拋光。
外延片生產(chǎn)前襯底的雙面研磨:多用藍寶石研磨液研磨一道或多道,根據(jù)最終藍寶石襯底研磨要求用6um、3um、1um不等。
LED芯片背面減?。簽榻鉀Q藍寶石的散熱問題,需要將藍寶石襯底的厚度減薄,從450nm左右減至 100nm左右。主要有兩步:先在橫向減薄機上,用50-70um的砂輪研磨磨去300um左右的厚度;再用拋光機針對不同的 研磨盤(錫/銅盤),采用合適的藍寶石研磨液(水/油性)對芯片背面拋光,從150nm減至100nm左右。
藍寶石研磨拋光液的組分:優(yōu)質(zhì)聚晶金剛石微粉、水、酸、無機鹽、其他。適合藍寶石襯底的研磨和減薄、光學(xué)晶體、硬質(zhì)玻璃和晶體、超硬陶瓷和合金、磁頭、硬盤、芯片等領(lǐng)域的研磨和拋光。
藍寶石材質(zhì)精拋液是水溶性膠體漿料,專業(yè)針對藍寶石材質(zhì)的表面精拋加工,具有拋光效率高、使用壽命長的特點,且光潔度高,懸浮性好,易清潔。該產(chǎn)品目前已在國內(nèi)多家拋光生產(chǎn)廠家獲應(yīng)用。
(圖一:部分添加試劑)
(圖二:拋光粉)
一般來說,工件要實現(xiàn)鏡面效果,基本上都是要經(jīng)過粗拋、精拋和拋光這三道工序的。如果工件本身具有一定的精度,則可以省略粗拋工序。
粗拋:去除毛坯的大部分余量,最后所達到的效果要保持到大致的幾何形狀與粗糙度。
精拋:粗拋完成后的下一個工序就是精拋,結(jié)果是能夠保持最精確的幾何形狀以及精細的裂紋深度。
拋光:工件通過了粗拋、精拋工藝后,進入拋光工序;也是最終實現(xiàn)光學(xué)表面層實現(xiàn)的最后一個部分,前提下前兩者必須要為最后一步拋光做好準備,使得在整個拋光過程當中,盡量去除粗拋與精拋所留下的破環(huán)層,實現(xiàn)光學(xué)表面最理想鏡面效果。
由于這三種工序不同,所用的研磨液也不一樣
1.粗拋選擇的耗材是:粗拋液,粗磨盤(鑄鐵盤)。這兩種耗材的成分里面,主成分的材質(zhì)稍微較粗,要求硬度較高,顆粒度較大,這樣才有較好的切削力。
2.精拋選擇的耗材是:精拋液,精磨盤(錫盤)。這兩種耗材相對要求要高一點,需要材質(zhì)更為精細,顆粒非常小的原材料生產(chǎn)。
3.拋光選擇的耗材是:拋光液,拋光盤(銅盤)。這個耗材要求最高,對精細度有著非常嚴格的標準。一般是采用納米級顆粒度的原材料配置液體。也通常用的是微米級的金屬顆粒鍛造而成。
選擇艾姆克,保證拋光效果
一般來說,研磨液都是以客戶工件的材質(zhì)和要達到的效果來配置的。在交貨前,工程師會依據(jù)客戶提供的工件試樣,除了要達到客戶拋光要求,還要實現(xiàn)高良率、高效率、低成本原則。交貨后,提供詳細的使用方法,并有工程師上門指導(dǎo),保證拋光效果。